在ICP－MS中，產(chǎn)生的1000，000個(gè)離子中，只有1個(gè)能夠最終到達(dá)檢測(cè)器，這是由于每級(jí)的效率決定的，在這樣低效率的傳輸下，去除各種干擾就變得更加重要了，離子鏡的主要目的是去除電子和中性微粒的影響，并對(duì)正電子實(shí)現(xiàn)聚焦。離子鏡的結(jié)構(gòu)如下圖所示。

當(dāng)離子從截取錐噴出時(shí)，在進(jìn)入離子鏡之前，能量較小的離子會(huì)更多的被真空抽走。

等離子體首先進(jìn)入的是截取透鏡（extraction lens），截取透鏡具有很強(qiáng)的負(fù)電勢(shì)，所以電子無(wú)法通過(guò)，被真空抽走。在后面是幾級(jí)離子聚焦透鏡，離子聚焦透鏡的原理是：安裝兩個(gè)電極板或圓筒，在兩個(gè)電極之間形成了透鏡狀的等場(chǎng)強(qiáng)線，當(dāng)邊緣離子入射到電場(chǎng)時(shí)，受電場(chǎng)影響，向中心移動(dòng)，隨后出射運(yùn)動(dòng)方向又恢復(fù)到了向前，實(shí)現(xiàn)了位置上的聚焦。ICP－MS在產(chǎn)生離子的同時(shí)，也產(chǎn)生大量光子，由于光子也可以被檢測(cè)器檢測(cè)和計(jì)數(shù)，所以在離子透鏡的末端，是一個(gè)偏轉(zhuǎn)透鏡，用于去除光子干擾。(一般來(lái)講，采樣錐離子流為0.1A，截取錐電流為1mA)

在ICP－MS6880中，透鏡組如下圖：

接口錐后配備2個(gè)提取透鏡。

2個(gè)提取透鏡電壓可分別調(diào)節(jié)電壓，可以實(shí)現(xiàn)軟提取、硬提取、浸透式提取等，多種提取模式，提升各種復(fù)雜基體的分析能力.

樣品通過(guò)離子源離子化，形成離子流，通過(guò)接口進(jìn)入真空系統(tǒng)，在離子鏡中，負(fù)離子、中性粒子以及光子被攔截，而正離子正常通過(guò)，并且達(dá)到聚焦的效果。在分析器中，儀器通過(guò)改變分析器參數(shù)的設(shè)置，僅使我們感興趣的核質(zhì)比的元素離子順利通過(guò)并且進(jìn)入檢測(cè)器，在檢測(cè)器中對(duì)進(jìn)入的離子個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，得到了最終的元素的含量。

ICP－MS6880電感藕合等離子體質(zhì)譜主要結(jié)構(gòu)

ICP－MS是一種靈敏度非常高的元素分析儀器，可以測(cè)量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、地質(zhì)、環(huán)境以及生物制藥等行業(yè)中。

ICP－MS全稱(chēng)是電感藕合等離子體質(zhì)譜，它是一種將ICP技術(shù)和質(zhì)譜結(jié)合在一起的分析儀器。ICP利用在電感線圈上施加的強(qiáng)大功率的高頻射頻信號(hào)在線圈內(nèi)部形成高溫等離子體，并通過(guò)氣體的推動(dòng)，保證了等離子體的平衡和持續(xù)電離，在ICP－MS中，ICP起到離子源的作用，高溫的等離子體使大多數(shù)樣品中的元素都電離出一個(gè)電子而形成了一價(jià)正離子。

質(zhì)譜是一個(gè)質(zhì)量篩選和分析器，通過(guò)選擇不同質(zhì)核比（m/z）的離子通過(guò)來(lái)檢測(cè)到某個(gè)離子的強(qiáng)度，進(jìn)而分析計(jì)算出某種元素的強(qiáng)度。

ICP－MS的發(fā)展已經(jīng)有20年的歷史了，在長(zhǎng)期的發(fā)展中，人們不斷的將新的技術(shù)應(yīng)用于ICP－MS的設(shè)計(jì)中，形成了各類(lèi)ICP－MS。ICP－MS主要分為以下幾類(lèi)：四極桿ICP－MS，高分辨ICP－MS（磁質(zhì)譜），ICP－tof－MS。本文主要介紹四極桿ICP－MS。

圖1是ICP－MS的主要組成模塊。

樣品通過(guò)離子源離子化，形成離子流，通過(guò)接口進(jìn)入真空系統(tǒng)，在離子鏡中，負(fù)離子、中性粒子以及光子被攔截，而正離子正常通過(guò)，并且達(dá)到聚焦的效果。在分析器中，儀器通過(guò)改變分析器參數(shù)的設(shè)置，僅使我們感興趣的核質(zhì)比的元素離子順利通過(guò)并且進(jìn)入檢測(cè)器，在檢測(cè)器中對(duì)進(jìn)入的離子個(gè)數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，得到了最終的元素的含量。